小野 俊郎 | 弘前大 大学院 理工学研究科
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概要
論文 | ランダム
- AS-2-5 薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMSフィルタ(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- AS-2-4 MEMS可変容量を集積化した可変SAWフィルタの開発(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)
- MEMSナノトライボロジーの電子顕微鏡その場観察 (特集 MEMSとトライボロジー)
- 特集 MEMSとトライボロジー