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茂山 知己 | 株式会社ザイエンス 技術開発部
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株式会社ザイエンス 技術開発部の論文著者
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プラズマディスプレイの最新技術 (特集 ディスプレイ用ガラス・セラミック材料の進展)
プラズマディスプレイの最新技術とその動向
30p-D-9 内部アンテナ誘導結合プラズマによる多結晶シリコン膜の低温形成特性
28a-K-5 高周波マグネトロンスパッタ法によるSrTiO_3薄膜の低温・高速成膜
30a-SYK-18 誘導結合プラズマによる多結晶シリコン薄膜の低温形成 : 大粒径化と高速堆積
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