Ikegaya Kazuyoshi | Komatsu Electronic Metals Co., Ltd., 2612 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa 254, Japan

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概要

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Komatsu Electronic Metals Co., Ltd., 2612 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa 254, Japan | 論文

• Effect of Fe Impurities on the Generation of Process-Induced Microdefects in Czochralski Silicon Crystals

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