東 昭 | 都立科技大
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概要
都立科技大 | 論文
- 309 Siの異方性エッチングで形成したマイクロ多刃工具による加工の基礎研究(OS6 マイクロ加工(1))
- F-0526 MAGIC加工のトライボロジー(J17-2 マイクロトライボロジー&プロセッシング(2))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- Si異方性エッチングで形成した微小多刃工具による加工の基礎研究
- 磁性流体を研磨液として用いた平面ラッピングの基礎研究
- MAGIC砥石の研磨特性に及ぼす試験片表面粗さと砥石目詰まりの影響