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Chen Ben-Chang | National Nano Device Lab., 1001-1 Ta Hsueh Road Hsinchu, Taiwan, R.O.C.
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National Nano Device Lab., 1001-1 Ta Hsueh Road Hsinchu, Taiwan, R.O.C. | 論文
Multilayer Bottom Antireflective Coatings for High Numerical Aperture and Modified Illumination Exposure Systems
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