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中山 泰生 | 千葉大院融合科学:千葉大工
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表面欠陥検査の現状(表面欠陥検査の現状と問題点)
光によるインプロセス表面粗さ計測 (光計測)
非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1) : 超精密測定技術の研究
インプロセス粗さ測定法とその応用(光学的非接触方式による高精密測定技術)
精度診断技術の研究 : 3点式主軸回転精度測定装置の開発
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