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三輪 正 | コニカ(株) 情報機器事業本部 機械開発統括部 第3開発センター
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202 フラクタル次元による工具摩耗の評価(切削・研削・研磨加工I)
251 弾性砥石による金型研磨(切削・研削・研磨加工III)
252 シリコンウエハの研磨に関する研究(切削・研削・研磨加工III)
560 レーザ光散乱法によるシリコンウェハ表面の検査(切削・研削・研磨加工III)
558 研磨運動の相違に基づく加工特性(切削・研削・研磨加工III)
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