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原口 京子 | がん・感染症センター都立駒込病院輸血・細胞治療科
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29p-YL-11 表層イメージングの孤立パターンへの適用
29p-YL-9 アルコール基のシリル化による表層イメージング
29a-V-11 ArFリソグラフィにおけるシリル化プロセスの高感度化
29a-V-10 レジスト中のシリル化反応の密度汎関数法による理論計算
29a-V-2 ArF露光用Si含有レジストの開発(1)
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