Watanabe Masamitsu | RIKEN/Spring-8, Kouto 1-1-1, Mikazuki, Sayo, Hyogo 679-5148

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概要

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論文 | ランダム

• 臭素吸着 Si(111)表面の原子層エッチングと電子刺激脱離
• 複合型走査反射電子顕微鏡によるGeナノ構造形成
• SREM/STMによるSi/Geナノ構造の形成と安定性の評価
• Si表面の原子層酸化のナノメータースケール観察
• 原子層のSi酸化膜を用いたナノ構造形成

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