小松 賢一 | 日立金属（株）素材研究所

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概要

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• 日立金属（株）素材研究所の論文著者

論文 | ランダム

• SIMS (表面微量分析の問題点(技術ノ-ト))
• 25a-G-3 AES法による半導体(基板)-金属(蒸着薄膜)系の界面構造観測
• 12a-R-10 Si(基板)-Au(膜)系での低温反応により生じる合金層のAuger 電子分光による観測
• 吸着原子の表面拡散のAuger電子分光法による観測(研究ノート)
• LEED-AESによるW(110)面の観察

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