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仙田 正三 | 国策パルプ工業附属農林科学研究所
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3. 種々のプラズマ源の電子エネルギー分布関数の比較 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
31a-D-2 RFバイアス光プローブ法による反応性プラズマ中の電子エネルギー分布関数測定
29p-YA-19 発光分光法による電子エネルギー分布の計測
29p-YA-7 酸化膜エッチングプラズマにおけるSi, CFx, Fの発光計測
RFバイアス光プローブ法を用いた電子エネルギー分布関数の測定
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