古沢 英紀 | 東京都がん検診センター診断第1部

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論文 | ランダム

• ナノインプリント技術のホログラムへの応用
• SOGレジストの電子ビーム露光特性
• FIB-CVD法を用いて作製したDLC膜の微細構造解析
• FIB-CVD法によるDLC成形プロセスとその特性評価(マイクロマテリアル)
• ナノ・マイクロ加工のためのドライエッチング技術

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