首藤 恭三 | ソニー・テクトロニクス(株)

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概要

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ソニー・テクトロニクス(株) | 論文

• 半導体レーザービーム整形技術 : 直接加工のためのビーム整形, 現状と課題, 将来展望
• 短波長紫外レーザーによる光学素子整形
• 短波長紫外レーザーによる光学素子整形
• 解説 レーザアブレーションを用いた非接触光学素子整形法(LAS)の開発
• レーザーアブレーションによる高精度光学表面の形成 (特集 ナノ加工・ナノ計測)

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