Lee Won-Jong | Department of Materials Science and Engineering, KAIST, Taejeon, R. O. Korea

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概要

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• Department of Materials Science and Engineering, KAIST, Taejeon, R. O. Koreaの論文著者

Department of Materials Science and Engineering, KAIST, Taejeon, R. O. Korea | 論文

• Dry Etching Characteristics of Pb(Zr,Ti)O3 Films in CF4 and Cl2/CF4 Inductively Coupled Plasmas

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