YUGARI YASUMI | Life Sciences Laboratory, Ajinomoto Co.

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概要

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論文 | ランダム

• 水素プラズマによりシリコン酸化膜に導入される欠陥の電気的評価
• 誘導結合型水素プラズマによるSi基板洗浄のrfバイアス及び基板温度の効果
• 水素プラズマによる低温アニール装置の提案
• 薄いシリコン熱酸化膜と熱酸化窒化膜の電気的特性
• 水素プラズマ処理した薄いシリコン熱酸化膜の電気的特性

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