大室 仁 | 東海大学(工)

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概要

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• 同名の論文著者
• 東海大学(工)の論文著者

東海大学(工) | 論文

• エキシマレーザーによる合成石英ガラスの誘起吸収, 発光特性 -アニール温度依存性-
• 逐次酸化還元による透明SiO_2の室温形成
• SiO_2膜形成を目的としたSi表面の光化学的クリーニング
• 酸素引き抜き反応によるSiO_2の光エッチング
• 単結晶3C-SiCのレジストレスパターンエッチング

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