渡部 優 | Mitsubishi Electric Mfg. Co., Ltd., Electronics Works
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概要
論文 | ランダム
- 21409 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの高速成長及び表面積制御(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21408 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの成長メカニズム(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 高密度プラズマプロセッシングの現状と将来展望(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成
- カーボンナノウォールを用いた新機能デバイスの開発