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上田 一博 | LCH研究グループ (JLSG)
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425 シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の特性評価(WS-1 マイクロデバイスの加工と材料評価)
UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作と特性評価
マイクロプロセス技術によるマイクロコネクタの製作
n型β-SiCのピエゾ抵抗効果の電子輸送と変形ポテンシャル理論に基づく解析
単結晶シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作と特性評価
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