原 忠 | 高知大学・総合研究センター防災部門

スポンサーリンク

概要

• 原 忠の詳細を見る
• 同名の論文著者
• 高知大学・総合研究センター防災部門の論文著者

論文 | ランダム

• 表面波放電プラズマにおける電子密度の天板誘電率依存性
• 28p-E-1 高誘電率導入窓を用いたマイクロ波酸素プラズマのアッシング特性
• 28a-E-6 低誘電率(a-C:F)薄膜作製におけるECRプラズマ中のCFx(x=1〜3)ラジカルの挙動
• 30p-ZQ-12 HMDSOプラズマCVD膜の低誘電率化
• 30p-ZQ-11 プラズマCVDを用いた多孔質低誘電率膜形成の検討

もっと見る

スポンサーリンク