NISHIHARA Toshikazu | Central R Center, Victor Company of Japan, Limited

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概要

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論文 | ランダム

• 31p-P-4 平行平板形RFプラズマの二次元構造 : 電源周波数の効果
• 31a-P-3 流体方程式を用いたRF-CCP中の微粒子の二次元分布モデリング
• 30p-R-7 誘導性結合CF_4-RFプラズマの一次元モデリング
• 30p-R-6 Ar, RF誘導結合型プラズマの2次元モデリング(II)
• 30a-R-5 誘導結合型Arプラズマの三次元構造及び時間分解診断

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