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中島 康雄 | DIRECT研究会
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半導体容量式クラッシュセンサ
マイクロ構造における表面間力に関する理論的検討
静電気力を利用したサーボ型加速度センサ用IC
静電型マイクロセンサ, アクチュエータにおける表面間力
マイクロ構造における表面間力の測定と表面間力の低減
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