木曽 弘隆 | 東芝タンガロイ (株)

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概要

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東芝タンガロイ (株) | 論文

• Ni, Cu基板に対するCのMeV注入による表面硬化のメカニズム
• セラミックス工具及び機械部品の表面処理
• CVDとPVD
• CVDコーティングによる硬質膜の形成とその用途
• 熱CVD法により形成された硬質膜の内部応力

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