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阿部 勝幸 | マイクロダイヤモンド
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半固定砥粒加工による層間絶縁膜の平坦化
高速CMPによるグローバル平坦化時の研磨機構に関する研究(第1報)
ビジネス:研究と事業、スパイラルで進行 (特集 深化するナノテク)
特集 衣料のアレルギー対策、機能を競演--原因物質に作用し、かゆみなど症状緩和 専門医らと協力、試験結果に基づき商品化
企業ウオッチ AJI--微小部品の組み立てで先端産業に切り込む
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