Utsumi Michiaki | Department of Applied Physics, Tokai University, Hiratsuka, Kanagawa 259-12, Japan

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概要

• 同名の論文著者
• Department of Applied Physics, Tokai University, Hiratsuka, Kanagawa 259-12, Japanの論文著者

Department of Applied Physics, Tokai University, Hiratsuka, Kanagawa 259-12, Japan | 論文

• Etching Reactivity of Negative Ions Generated in Cl2 Downstream Plasma

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