田村 英雄 | 姫路工業大学

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概要

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• 同名の論文著者
• 姫路工業大学の論文著者

姫路工業大学 | 論文

• 時分割方式により実現した単一参照駆動用コイルを有するマイクロ振動型ジャイロの駆動・検出システム
• C-6-19 バルクマイクロマシニング技術を用いた振動型加速度センサ(C-6.電子部品・材料)
• シリコン円筒振動型ジャイロ
• 多層集積化MEMSのためのハイブリッドウエハに関する研究
• 集積化縦形磁気トランジスタの特性

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