AIYAMA Shigeo | The Nippon Dental University Hospital at Tokyo
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概要
論文 | ランダム
- 310 圧電薄膜を用いた流路壁面振動送液デバイスの特性評価(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 309 補償光学用高解像度圧電MEMSミラーに関する研究(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- RF-MEMSスイッチ用圧電薄膜型マイクロアクチュエータの開発(第16回MAGDAコンファレンス)
- PZT圧電薄膜を用いた補償光学用MEMS可変ミラー
- 3302 圧電薄膜を用いた流体搬送機能を有するマイクロチャネルの開発(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)