本多 順一 | ソニー（株）仙台テクノロジーセンター

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論文 | ランダム

• 結晶格子によるサブナノメートル計測
• サブナノの基準(ハードウェア : 結晶格子の応用)
• 高フィネス光共振器と結晶格子によるピコメートル分解能測長法の開発 : 第1報 : 計測原理と装置設計
• 圧電素子を用いた滑らかな動作をする直動ステージの試作
• 走査型プローブ顕微鏡を用いたサブナノメートル計測が実用できるか? : 実用への課題と現状

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