Kawahara Makoto | SUN AGRO Co., Ltd.
スポンサーリンク
概要
論文 | ランダム
- φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第3報片持ち型ウェーハ研削装置の特性-
- φ400ウェーハの両面研磨技術の研究 -第2報 φ200ウェーハによるシミュレーションテスト-
- φ400ウェーハの両面研磨技術の研究 -第1報 5枚両面研磨方式の検討-
- φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第3報 ウェーハを偏心させた場合の加工特性-
- φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第2報φ200ウェーハによるシミュレーションテスト-