角田 誠 | 三菱電機 (株) 材料デバイス研究所

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論文 | ランダム

• 差動共振型加速度センサとオーバートーンPLL回路によるその駆動検出回路
• C-6-4 シリコン上直接金電解めっき法を用いたブランチラインカプラの設計(C-6.電子部品・材料,エレクトロニクス2)
• 振動型MEMSセンサの周辺回路技術(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
• SU-8トーションビームによる大口径シリコンMEMSミラー
• MEMS試作を指向したDMDダイレクト露光装置とその応用

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