奥本 武臣 | 前（株）日立製作所機械研究所
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概要
論文 | ランダム
- 特別講演 改正薬事法について--生物学的安全性と歯科臨床とのかかわり (日本医用歯科機器学会 第17回研究発表大会)
- 超音波振動を利用した基盤の非接触搬送・ハンドリング (ガラス基板の非接触搬送技術動向)
- Cu/Low-Kビアホールのクリーニング〔含 英文〕 (新しい地球環境と豊かなネットワーク社会を生み出す半導体技術) -- (セッション4 多層配線/エッチング--Cu/Low-k実用化が進む中での多層配線/エッチング技術動向)
- 炉筒煙管式ボイラ用別置エコノマイザ
- 排熱回収機器,配管等の実際に就て