戸田 裕之 | 九州大学　大学院工学研究院　機械工学部門

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概要

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論文 | ランダム

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• 28p-ZA-17 高アスペクト比ホールにおけるイオンエネルギー計測
• 28a-ZA-5 高速回転法を用いた高速高均一エッチング
• フロロカ-ボンガスのマグネトロン放電プラズマを用いたシリコン酸化膜のエッチング技術
• Si (001) 面からの低速電子線非弾性回折 (ILEED)

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