遊佐 厚 | 小松電子金属(株)

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概要

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• 小松電子金属(株)の論文著者

小松電子金属(株) | 論文

• 超LSIの高集積化とシリコン基板の加工技術(超LSIの良品率の秘密を探る)
• シリコン融体の表面張力の測定 : バルク成長シンポジウムI
• 4a-TA-8 FZシリコン中の微小歪の放射光平面波トポグラフィによる観察
• CZ法シリコソ融液内の酸素の分布と変動 : シンポジウムII

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