田谷 俊陸 | 日立製作所計測器事業部

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概要

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• 同名の論文著者
• 日立製作所計測器事業部の論文著者

日立製作所計測器事業部 | 論文

• HD-2000形超薄膜評価装置の開発
• 位相限定相関法のTEM自動焦点解析への適用性の検討
• SiO_2膜中のSiナノ結晶成長の高分解能その場観察
• H-7600のオートフォーカス機能とその応用
• 二軸傾斜試料加熱装置の改良とその金属材料高温観察への応用

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