板東 昌利 | 東北大·工·地球

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概要

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論文 | ランダム

• 超小型質量分析計の反応性スパッタリングプロセス計測への応用
• 小型質量分析計を用いたスパタリングプロセス中の粒子計測
• 高周波放電電極上の自己バイアス電位分布の研究
• ピエゾバルブを用いた流量計測機能付きガス導入装置の試作
• カ-ボニゼ-ションが及ぼす水素リサイクリング現象への効果

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