菊田 洋子 | 筑波大学 大学院数理物質科学研究科

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概要

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• 筑波大学 大学院数理物質科学研究科の論文著者

筑波大学 大学院数理物質科学研究科 | 論文

• レーザープラズマ軟X線アブレーションによる微細加工
• レーザープラズマ軟X線による透明材料のマイクロ・ナノ加工と加工プロセス
• レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工
• レーザーアブレーション法による可視発光a-Si/SiO_2およびSiナノクラスター/SiO_2積層構造の製作
• レーザ生成プラズマEUV光による透明材料の直接加工

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