渡辺 直樹 | 　同　検査部

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概要

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• 　同　検査部の論文著者

論文 | ランダム

• インバータ電源による両極性パルスDC放電プラズマ特性
• 有機金属イオンビーム法によるシリコン基板上への3C-SiC薄膜の低温ヘテロエピタキシャル成長
• ヘキサメチルジシランを用いたイオンビーム誘起CVD法
• 27pA26P インバータ電源による両極性パルスプラズマ生成とその応用(プラズマ基礎・応用)
• 有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長

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