古谷 克司 | 豊田工大　工学部 先端工学基礎学科

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概要

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• 豊田工大　工学部 先端工学基礎学科の論文著者

論文 | ランダム

• 28p-X-1 臭素ガスRIEによるInP基板の加工ダメージとアニール効果のPLによる評価
• 流動層処理したSi基板上へのダイヤモンド気相合成
• 粒子衝突によって処理した基板上へのダイヤモンド気相合成
• CVD反応装置内のシミュレーション
• 超微粒子沈着CVDによるAlN膜の高速成膜

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