牧 洋光 | ダイキン工業 (株) 空調生産本部

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概要

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• ダイキン工業 (株) 空調生産本部の論文著者

ダイキン工業 (株) 空調生産本部 | 論文

• ねじ溝型分子ポンプの排気特性
• ねじ溝型真空ポンプの排気特性に及ぼす第二成分気体の効果
• 高背圧域におけるねじ溝型軸流ポンプの排気特性
• プラズマ化学蒸着法によるa-Si:H膜の作製と膜特性に及ぼす排気系の影響
• 移動壁に面した異形流路内の希薄気体の流れ

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