坂本 健一 | （株）日立製作所 中央研究所

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概要

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• （株）日立製作所 中央研究所の論文著者

（株）日立製作所 中央研究所 | 論文

• 自動車走行制御向けMEMS型3軸複合センサ
• 静電容量検出型集積化MEMS慣性センサの固有振動数設計
• バナジウム系ガラスを用いた塗布型熱電変換素子
• 制御システムの動作モードに基づいたネットワーク振舞異常検知方式

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