佐藤 芳昭 | 株式会社　加速器分析研究所

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• 株式会社　加速器分析研究所の論文著者

論文 | ランダム

• CZ-Si結晶成長における石英の溶解および酸素の偏析(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
• シリコン結晶育成用るつぼに用いるシリカガラス中の気泡の挙動
• 22aA4 高濃度B添加CZ-Si結晶成長(バルク成長I)
• 22aA2 ボロン添加シリコン融液と石英ガラスとの反応その場観察(バルク成長I)
• 高濃度ボロン添加シリコン結晶成長

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