長野 拓義 | 熊本大 自然科学研究科

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概要

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論文 | ランダム

• スパッタ工程と反応工程を分離した反応性スパッタ
• RF-IADプロセスによるTiO_2薄膜製作時のアルゴン及び酸素混合比に対する光学特性及び膜構造依存性
• 30p-F-8 養殖および人造真珠の多層膜(I)日立UHR-SEMによる表面および断面観察
• 29a-E-5 IAD法で作製した光学薄膜の充填率
• 29a-E-4 IAD法で作製した光学的不均質膜の構造

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