小畑 龍夫 | 工北サーモ　技術部

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概要

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• 工北サーモ　技術部の論文著者

論文 | ランダム

• Electron Cyclotron Resonance Plasma Etching of α-Ta for X-Ray Mask Absorber Using Chlorine and Fluoride Gas Mixture
• Etching Characteristics of α-Type Ta Film Using Cl_2 Electron Cyclotron Resonance(ECR)Plasma
• Development of Highly Accurate X-Ray Mask with High-Density Patterns
• スリット光を用いた3次元モデル撮影システムの設計と実装
• IBM&Rによるテクスチャ付き3次元スキャナーの開発(画像入出力および一般)

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