清沢 功 | 森永乳業KK中央研究所

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概要

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論文 | ランダム

• 電子線励起表面反応による3次元ナノ構造形成
• 電子ビーム励起表面反応を用いたナノメータエッチング
• 塩素吸着Si(111)7×7でのSTMによる原子サイズの表面構造形成
• STMによる極微細加工技術
• STMによる微細加工

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