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長崎 二三夫 | 国立療養所松戸病院呼吸外科
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同名の論文著者
国立療養所松戸病院呼吸外科の論文著者
論文 | ランダム
MEMS/NEMSと機械的物性評価
静電チャックを用いた薄膜引張り試験装置
多結晶シリコンヨーレートセンサ
1998 R&D 100 Awardsを受賞して
薄膜の引張強度評価 (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)
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