高梨 秀一郎 | 心臓血管研究所附属病院外科

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概要

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• 心臓血管研究所附属病院外科の論文著者

論文 | ランダム

• 赤外分光法を用いたアモルファス炭化シリコン膜のその場観察とSiH_4-CH_4プラズマの発光分光分析
• シリコン系アモルファス薄膜の熱的構造安定性に関する研究
• SiH_4-CH_4系ガスのグロー放電分解により生じるプラズマの発光特性(半導体材料・デバイス)
• SiH_4-N_2プラズマ中におけるN_2ラジカルの発光特性
• 原料ガス分離分解型プラズマCVD法により生じるH_2-N_2プラズマ状態の解析

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