佐久間 真理 | 田辺製薬 (株) RIセンター

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概要

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論文 | ランダム

• Siイオン注入ダメージによるAsの過渡増速拡散
• 格子間シリコン原子拡散のバックグラウンド炭素濃度依存性
• 低温熱処理におけるボロンの初期異常拡散
• Asイオン注入に起因するSi結晶中でのAs過渡増速拡散とB再分布
• ボロンの過渡増速拡散とクラスタ形成の深さ依存性

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